微纳机电系统研究所

来源:孙博发稿时间:2017-09-13浏览次数:667

学科团队负责人:刘向军



学科介绍:微纳机电系统(Micro/Nano Electromechanical System)是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源、微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。本学科是以机、电技术,尤其是微机械为基础的,综合多种学科技术的新型交叉学科。学科团队,一方面致力于培养从事微纳机电系统设计、制造、工艺、测试以及基础理论等方面的人才,同时着重开展微纳机电系统相关的核心技术与应用的研究